Plasma parameters obtained with planar probe and optical emission spectroscopy (2007)
Source: Journal of Integrated Circuits and Systems. Unidade: EP
Subjects: MICROELETRÔNICA, CIÊNCIA DA COMPUTAÇÃO
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ABNT
DALTRINI, Andre M et al. Plasma parameters obtained with planar probe and optical emission spectroscopy. Journal of Integrated Circuits and Systems, v. 2, n. 2, 2007Tradução . . Acesso em: 02 maio 2024.APA
Daltrini, A. M., Moshkalev, S., Swart, L., & Verdonck, P. B. (2007). Plasma parameters obtained with planar probe and optical emission spectroscopy. Journal of Integrated Circuits and Systems, 2( 2).NLM
Daltrini AM, Moshkalev S, Swart L, Verdonck PB. Plasma parameters obtained with planar probe and optical emission spectroscopy. Journal of Integrated Circuits and Systems. 2007 ; 2( 2):[citado 2024 maio 02 ]Vancouver
Daltrini AM, Moshkalev S, Swart L, Verdonck PB. Plasma parameters obtained with planar probe and optical emission spectroscopy. Journal of Integrated Circuits and Systems. 2007 ; 2( 2):[citado 2024 maio 02 ]